應用背景

應用領域：1.半導體設備 2.機械自動化

陶瓷機械手臂又稱末端執(zhí)行器、陶瓷機械手等,主要在半導體設備中起到輸送搬運的作用，它相當于半導體設備這個機器人的手，負責搬運晶圓硅晶片到指定位置。

由于晶圓硅晶片極其容易受到其他物質(zhì)的污染，所以一般在真空環(huán)境下進行。在此環(huán)境下，大部分材料的機械手臂一般難以完成工作，制作機械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。而先進陶瓷材料恰好可以滿足這些條件，一般的陶瓷機械手臂主要有三種，一種是氧化鋁陶瓷機械手臂，另兩種是黑色陶瓷和復合陶瓷機械手臂。這幾種陶瓷材料都具備高致密度、高硬度、高耐磨性的物理性質(zhì)，以及良好的耐熱性能、優(yōu)良的機械強度、高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能，是用于制作半導體設備機械手臂的絕佳材料。

目前東莞市夏陽新材料有限公司生產(chǎn)的陶瓷機械手臂適用于各種高性能要求的半導體設備，其制作的陶瓷產(chǎn)品得到了廣大客戶的肯定。

氧化鋁陶瓷

?密度：3.9g/cm3

?HRA硬度：91

?抗彎強度：370 MPA

?熱震穩(wěn)定：220^T.°C

?介電強度：22KV/MM

黑色陶瓷

?密度：3.15g/cm3

?HRA硬度：93

?抗彎強度：400 MPA

?熱震穩(wěn)定：400<T.°C

?介電強度：OKV/MM

復合陶瓷

?密度：3.2g/cm3

?HRA硬度：92

?抗彎強度：850 MPA

?熱震穩(wěn)定：800^T.°C

?介電強度： 12KV/MM

優(yōu)點

1.高硬度 2.耐磨損 3.散熱快 4.耐酸堿、抗腐蝕能力強，能適應極度惡劣 5.信號干擾少